【技术参数】 分辨率:3.0nm@ 30KV(SE and W) 4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 加速电压:0.2—30KV 放大倍数:5—1000000x 探针电流:0.5PA-5μA X-射线分析工作距离:8.5mm 35度接收角 低真空压力范围:10—400Pa (LS25:10-3000Pa) 工作室:420mm(φ)×330mm(h) 5轴试样载物台:X=130mm Y=130mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360° 较大试样高度:210mm,试样大直径:300mm 系统控制:基于Windows 7 的SmartSEM操作系统 存储分辨率:32,000 × 24,000 pixels 【主要特点】 大的样品高度可达210mm 大样品重量5Kg 大的样品直径300mm 能在可变压力下操作 高亮度LaB6资源选择 光线套选择 |