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中图激光干涉仪使用小技巧
时间:2021-08-19 点击次数:25
  中图激光干涉仪进行线性测量时,Z轴测量时激光光路的准直相对X、Y轴准直来说,要困难的多。尤其是在Z轴距离较长的情况下,要确保激光光束经反射镜反射后回到激先探测器的强度满意测量对对光强的要求,准直激光光路往往需求很长时刻。Z轴激光光路快速准直办法具体调整办法如下:Z轴置于低处,利用激光器外壳中部的瞄准槽,正对Z轴放置分光镜,左右移开Z轴,调查激光光路,确保激光转向后大致平行于Z轴,左右移回Z轴放置线性反射镜及光靶(能够盖在反射或分光镜上以帮助入眼瞄准及操控光路的靶),激光打在反射镜光靶上。
 
  中图激光干涉仪初步调整后,固定分光镜并在分光镜上装置光靶,通过“全体”调整准确瞄准光靶后,取下分光镜光靶,将Z轴升高,调查激光在反光镜光靶上违背程度,同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶,若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光,则将Z轴停止上升回到起始处,从头调整“全体”,再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴,继续调整“尾部”,调查激光在反光镜光靶上违背程度。重复整个过程,往往几次即可达到准直要求。
 
  中图激光干涉仪尽管装置组件比较齐全,但在实际运用过程中还是需求另外配置一些辅佐工具:
 
  1、研发低高度云台支架
 
  部分机床工作台高度与地上是基本相平的,那么测量Z轴时,如果运用激光干涉仪原装三角架及云台安放激光器于地上,则肯定会由于三角架本身的高度,丢失测量范围。
 
  2、挑选磁性表座
 
  磁性表座是激光干涉仪常用的辅佐工具,挑选时需求注意,表座工作面上需有螺孔以合作装置镜组装置杆,主磁性吸面坐落底面和旁边面的表座各挑选两个(实验室或工厂多采用的是主磁性吸面坐落底面的表座),在测量时,往往旁边面吸的表座更利于激光干涉仪镜组的装置。
 
  激光干涉仪具有有线性测量镜组、视点测量镜组、平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测量镜组、激光器准直辅佐镜等等,实际运用中,有些不同功能的镜组也能够相互组合运用,以满意测量需求。

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